电子特气被誉为半导体制造的“血液”，广泛应用于光刻、刻蚀、掺杂、沉积等核心工艺环节。长期以来，我国高端电子特气进口依赖度较高，部分关键品种进口率超过70%。

近年来，在国家政策支持和下游晶圆厂扩产带动下，国内电子特气企业加快技术研发与产能布局。高纯六氟乙烷、四氟化碳、光刻气等产品逐步实现进口替代，部分企业已切入国内外头部晶圆厂供应链。

国产替代的持续推进，不仅有助于降低半导体企业的用气成本，也为保障供应链安全稳定发挥了重要作用。对于高纯气体输送系统、压力调节器、阀门等配套设备厂商而言，这也意味着更大的市场机遇。