电子特气供气系统（ESGS）是半导体、光伏、显示面板等电子制造行业的关键基础设施。贝垚流体围绕特气安全性、极低泄漏率和洁净度要求，提供从气源调压到用气点控制的完整解决方案。

核心配置

  • 316L 电解抛光气体面板系统
  • UHP 单级/双级压力调节器
  • 隔膜阀阀组与阀箱集成
  • 氦质谱检漏验证（泄漏率 ≤ 1×10⁻⁹ atm cc/s）
  • 完整的材质证书与测试报告

适用气体

H₂、N₂、Ar、He、SiH₄、NH₃、NF₃ 等半导体工艺气体及支持性气体。