半导体特气工程

半导体特气工程

某12英寸晶圆厂超高纯特气输送系统

为国内某新建12英寸逻辑晶圆厂提供大宗与特气面板集成方案，实现7×24小时稳定供气，关键工艺气体纯度达到6N级以上。

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半导体特气工程

半导体晶圆厂特气面板系统

为 8 英寸晶圆产线提供高纯 H₂、SiH₄ 输送面板，满足半导体工艺对洁净度与稳定性的严苛要求。

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