该项目服务于国内某12英寸先进制程晶圆厂，覆盖光刻、刻蚀、成膜、掺杂等多个工艺模块的超高纯气体供应。系统采用模块化特气面板（VMB/VMP）与双路冗余设计，确保任何单点故障不影响产线运行。

项目重点解决了高腐蚀性、高毒性气体的安全输送问题，配置了负压抽风、泄漏检测、紧急切断与自动吹扫功能。所有管路均采用316L EP级不锈钢，焊接工艺经氦质谱检漏验证，满足SEMI标准对颗粒与水分含量的严苛要求。

通过集中监控平台，客户可实时查看气体压力、流量、阀门状态及报警信息，大幅提升了供气系统的可维护性与运行安全性。