硅烷是光伏电池片PECVD工序的核心原料气体,具有易燃易爆、自燃等危险特性。本项目为客户现有供气系统进行安全与效率双重升级。

升级内容包括:更换高密封性隔膜阀与调压器、增设气体泄漏检测与火焰探测器、优化管路布局减少死角与残留。同时引入自动吹扫与紧急切断逻辑,确保异常工况下快速响应。

项目实施后,硅烷利用率提升,工艺气体压力波动显著减小,为产线稳定达产提供了可靠保障。