某半导体封装测试工厂扩产项目,需为新建洁净室配套特种气体输送系统。贝垚流体提供完整的气体面板解决方案,包含 GDS-S01 气体输送面板系统,集成隔膜阀、压力调节器和质量流量控制接口。
所有接触气体的零部件均采用 316L 电解抛光处理,表面粗糙度 Ra ≤ 0.25μm,满足 SEMI F20 标准。面板在洁净室内组装,出厂前进行全面的氦检和耐压测试,并提供完整的材质证书和检测报告。
半导体特气工程 / Gas Panel / Semiconductor / UHP
为 8 英寸晶圆产线提供高纯 H₂、SiH₄ 输送面板,满足半导体工艺对洁净度与稳定性的严苛要求。
某半导体封装测试工厂扩产项目,需为新建洁净室配套特种气体输送系统。贝垚流体提供完整的气体面板解决方案,包含 GDS-S01 气体输送面板系统,集成隔膜阀、压力调节器和质量流量控制接口。
所有接触气体的零部件均采用 316L 电解抛光处理,表面粗糙度 Ra ≤ 0.25μm,满足 SEMI F20 标准。面板在洁净室内组装,出厂前进行全面的氦检和耐压测试,并提供完整的材质证书和检测报告。
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